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簡(jiǎn)要描述:CryoSAS是布魯克光譜公司生產(chǎn)的專(zhuān)門(mén)用于硅材料分析的一體化的低溫檢測系統。 Z多可一次安放九個(gè)樣品,優(yōu)化設計的光譜儀能夠同時(shí)檢測 III、V族摻雜元素(如硼、磷等淺雜質(zhì)態(tài))在單晶硅中的硅中取代碳,間隙氧含量的測定等.半導體行業(yè)檢測設備。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細介紹
品牌 | Bruker/布魯克 |
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•半導體分析光譜儀CryoSAS
CryoSAS是布魯克光譜公司生產(chǎn)的專(zhuān)門(mén)用于硅材料分析的一體化的低溫檢測系統。
CryoSAS*地將高性能的布魯克FT-IR光譜技術(shù)與現代化與方便實(shí)用的低溫閉循環(huán)致冷系統結合在一起,擺脫了通常進(jìn)行高靈敏度檢測時(shí)對液氦的依賴(lài)。CryoSAS的全部組件都采用了*的一體化和人性化的結構設計理念,使得這樣的系統能夠適應硅材料生產(chǎn)中的不同使用環(huán)境。
CryoSAS系統的主要指標為:
光譜范圍:1500-280cm-1
半導體分析可安裝九個(gè)樣品的樣品架,樣品的尺寸:zui多可一次安放九個(gè)樣品,樣品的尺寸為:直徑或邊長(cháng)為10mm的圓形或方形樣品,厚度為2.5~5mm
光譜分辯率:0.5cm-1
優(yōu)化設計的光譜儀能夠同時(shí)檢測 III、V族摻雜元素(如硼、磷等淺雜質(zhì)態(tài))在單晶硅中的硅中取代碳,間隙氧含量的測定等。
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